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中微半導(dǎo)體設(shè)備(上海)股份有限公司(以下簡稱“中微公司”，股票代碼：688012.SH)這幾年的業(yè)績持續(xù)向好，連續(xù)盈利4年，今年上半年?duì)I收保持增長近五成。用了近20年時(shí)間，中微公司成長為刻蝕機(jī)龍頭。

告別虧損后，中微公司不斷有新收獲，比如在等離子刻蝕機(jī)技術(shù)進(jìn)一步突破，目前中微公司CCP電容性高能等離子體刻蝕設(shè)備，已經(jīng)應(yīng)用于臺(tái)積電5nm生產(chǎn)線，同時(shí)其5nm以下的器件試生產(chǎn)取得了進(jìn)展。

中微公司主要產(chǎn)品等離子刻蝕機(jī)主要應(yīng)用在晶圓制造前道工藝，與光刻機(jī)一樣是集成電路晶圓工藝制造環(huán)節(jié)不可缺少的設(shè)備。在國內(nèi)，中微公司在刻蝕機(jī)領(lǐng)域難找對(duì)手，同時(shí)在國際市場上展露頭角。

“板凳要做十年冷，核心技術(shù)的突破攻關(guān)需要靜下心、沉住氣。”半導(dǎo)體投研專家吳全對(duì)經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者表示，中微獲得的突破給國內(nèi)半導(dǎo)體公司做了一個(gè)示范。

這幾年收獲滿滿的背后，中微公司已蟄伏18年。

尹志堯60歲創(chuàng)業(yè)

2004年，60歲的尹志堯，離開全球排名前三的半導(dǎo)體設(shè)備公司應(yīng)用材料，帶領(lǐng)15人團(tuán)隊(duì)回國，創(chuàng)立了中微公司。

中微公司的多位聯(lián)合創(chuàng)始人，也多是國際半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的資深技術(shù)和專家。在應(yīng)用材料任職的十多年里，尹志堯歷任等離子體刻蝕設(shè)備產(chǎn)品總部首席技術(shù)官、總公司副總裁及等離子體刻蝕事業(yè)群總經(jīng)理、亞洲總部首席技術(shù)官。

中微公司董事長兼總經(jīng)理尹志堯生于1944年，現(xiàn)年78歲。尹志堯本科畢業(yè)于中科大物理系，之后獲加州大學(xué)洛杉磯分校物理化學(xué)博士學(xué)位。1984年至2004年，尹志堯先后在英特爾、泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料多家公司任職。到目前尹志堯在半導(dǎo)體領(lǐng)域有近40年的經(jīng)驗(yàn)。

相比芯片生產(chǎn)商，半導(dǎo)體設(shè)備公司較少被外界關(guān)注。

尹志堯公開表示過，半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)有明顯的缺點(diǎn)，一個(gè)是規(guī)模小，幾百億美元的規(guī)模不到整個(gè)芯片產(chǎn)業(yè)的十分之一;另外，半導(dǎo)體設(shè)備是B2B模式，大多數(shù)人不了解設(shè)備公司做什么。

但是沒有光刻機(jī)、刻蝕機(jī)、薄膜沉積等設(shè)備則無法造出芯片。尹志堯此前接受采訪時(shí)說，芯片制造細(xì)分設(shè)備達(dá)170多種，而每個(gè)具體設(shè)備在國際上只有兩三家能夠做，是一個(gè)高度壟斷的行業(yè)。這也是被“卡脖子”的主要原因。

國盛證券研報(bào)顯示，國際第三方數(shù)據(jù)機(jī)構(gòu) Gartner統(tǒng)計(jì)，全球刻蝕企業(yè)排名前三的分別是 Lam Research(泛林半導(dǎo)體)、TEL(東京電子)、AMAT(應(yīng)用材料)，全球市占率合計(jì) 91%。國內(nèi)刻蝕業(yè)務(wù)前三大企業(yè)分別為中微公司、北方華創(chuàng)、屹唐半導(dǎo)體。

吳全告訴記者，半導(dǎo)體設(shè)備相較于芯片制造、產(chǎn)品應(yīng)用市場規(guī)模偏小，它是一個(gè)倒金字塔效應(yīng)，從設(shè)備到制造、產(chǎn)品，它有一個(gè)放大效應(yīng)。“俗話說沒有金剛鉆不攬瓷器活，只有把相應(yīng)的設(shè)備搞定，才能擴(kuò)大生產(chǎn)制造的規(guī)模。”

中微公司這樣的半導(dǎo)體設(shè)備公司也十分受國家重視，中微公司此前就獲得了大基金一期投資，2020年再獲大基金二期融資近25億元。

中微公司最新財(cái)報(bào)披露國有法人持股達(dá)34.76%，第一大股東和第二大股東均為國有法人。中微公司高管和核心技術(shù)人員也持有限售條件股份。

尹志堯曾公開表示過，全員期權(quán)激勵(lì)是中微吸引人才、留住人才的一大秘訣。中微公司采取全員激勵(lì)的方式，連續(xù)多年發(fā)布限制性股票激勵(lì)計(jì)劃。中微公司2021年年報(bào)披露，截至2021年底，中微公司員工持股人數(shù)644人(包含離職員工持股)，員工持股人數(shù)占公司員工總數(shù)的61%，員工持股數(shù)量占總股本的16.4%。中微公司披露，2022年上半年報(bào)告期內(nèi)人均年化營業(yè)收入達(dá)350萬元。

截至上半年末，董事長兼CEO尹志堯目前持股620萬股，占公司已發(fā)行股本的1%。尹志堯方有陸續(xù)減持，中微公司方面稱是因他個(gè)人資金需要。目前中微公司給尹志堯的年薪為669.68萬元。

如何成為刻蝕機(jī)龍頭

事實(shí)上，中微公司到2018年才實(shí)現(xiàn)盈利，在此之前是虧損狀態(tài)。

研發(fā)投入是中微公司投入的大頭。今年上半年中微公司研發(fā)投入占總營收比重的17.56%。此前比例更高一些，去年全年的研發(fā)投入占總營收比重為23%，2020年研發(fā)投入占總收入比重28%。截至2022年上半年中微公司研發(fā)人員數(shù)量為496個(gè)，相比上年同期有所增加，占公司總?cè)藬?shù)比重為41%。其中博士82人，碩士150人，本科210人，研發(fā)人員年齡范圍30-40歲居多。

當(dāng)然這樣的投入也是值得的，2016年到2021年，6年時(shí)間里中微公司的營收增長近五倍，已經(jīng)連續(xù)4年實(shí)現(xiàn)盈利。

中微公司的收入主要來自兩大業(yè)務(wù)，刻蝕設(shè)備和MOCVD 設(shè)備。今年上半年，中微公司2022年上半年?duì)I收19.72億元，同比增長47.3%，毛利率46%。其中，來自刻蝕設(shè)備的總收入占到總營收比重的65.87%。

摩爾精英副總裁賴琳暉告訴經(jīng)濟(jì)觀察網(wǎng)記者，這幾年芯片行業(yè)投入建廠較多，IC設(shè)備公司業(yè)績向好，但是后續(xù)的增長速度不會(huì)這么高了。

2016年至2021年，中微公司分別收入6.10億元、9.72億元、16.39億元、19.47億元、22.73 億元、31.08億元。2018年之前中微公司年?duì)I收復(fù)合增長率在60%左右，近三年來增長速度有所放緩。

此前中微公司盈利有部分是政府補(bǔ)貼，不過對(duì)政府補(bǔ)貼依賴的情況有改變。2022年上半年，中微公司政府補(bǔ)貼減少2億元，同時(shí)持有中芯國際和天岳先進(jìn)股價(jià)在上半年下跌帶來非經(jīng)常性損益減少。在這樣的情況下，中微公司上半年凈利潤保持在4.68億元，相比去年同期增長17.94%。上半年其扣非凈利潤同比增長6倍。

國內(nèi)也有多家做刻蝕設(shè)備的公司，像北方華創(chuàng)等公司大多以ICP電感性低能等離子體刻蝕設(shè)備為主。而中微公司主要的產(chǎn)品CCP電容性高能等離子體刻蝕設(shè)備。CCP是介質(zhì)刻蝕所需要設(shè)備，CIP是金屬及硅刻蝕所需設(shè)備。

中微公司半年報(bào)提及，公司的CCP 電容性高能等離子體刻蝕設(shè)備，在一些主要客戶的生產(chǎn)線上已達(dá)30%甚至更高的市場占有率。應(yīng)用于臺(tái)積電5nm晶圓生產(chǎn)線的就是中微公司CCP產(chǎn)品。

市面上ICP占據(jù)市場份額更大一些，中微公司也從CCP拓展到ICP。三年前中微公司ICP產(chǎn)品正式進(jìn)入市場，目前年銷售額保持100%的增速。中微公司CCP 刻蝕設(shè)備上半年收入8.86億元，同比增長13.98%;ICP 刻蝕設(shè)備上半年收入4.13億元，同比增長414.08%。

ICP目前是中微公司增長最快的產(chǎn)品線。

中微公司刻蝕產(chǎn)品線在持續(xù)拓展。中微公司目前正在開發(fā)用于邏輯器件大馬士革刻蝕及用于極高深寬比應(yīng)用的刻蝕機(jī)。財(cái)報(bào)提及，進(jìn)展較好，將陸續(xù)進(jìn)入市場。

未來持續(xù)擴(kuò)產(chǎn)能

MOCVD設(shè)備領(lǐng)域，中微公司搭上了Mini LED新風(fēng)口。

中微公司MOCVD設(shè)備在2020年收入較上年同比下滑34%，去年重獲增長。去年6月，中微公司新發(fā)布了用于高性能 Mini LED 量產(chǎn)的 MOCVD 設(shè)備Prismo UniMax。今年上半年中微公司MOCVD 設(shè)備收入為2.41億元，占總收入比重的12.22%，較去年同期增長9.90%。報(bào)告期MOCVD 設(shè)備內(nèi)毛利率達(dá)到35.42%，相比去年同期有所增長。

吳全表示，LED市場越來越是中國公司的天下，代表企業(yè)有京東方、華星等，國內(nèi)的這些廠家跟國外廠商競爭，主要是跟韓國廠商來競爭，也越來越具有優(yōu)勢，LED國產(chǎn)化這兩年也在加快。中微公司想要拿下LED市場的MOCVD 設(shè)備不難理解。

賴琳暉認(rèn)為，中微在CVD設(shè)備上有一定的競爭力，在IC設(shè)備自主可控的大背景下，前景可觀。

尹志堯在財(cái)報(bào)致辭中提及，經(jīng)過十多年的努力，公司制造氮化鎵基LED的關(guān)鍵設(shè)備 MOCVD 設(shè)備，已成為國內(nèi)和國際第一，占絕對(duì)領(lǐng)先地位。

除了刻蝕設(shè)備和MOCVD 設(shè)備外，中微公司同時(shí)在開發(fā)集成電路前端所需要的低壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(LPCVD)和生長硅及鍺硅極關(guān)鍵的外延設(shè)備(EPI)。財(cái)報(bào)提及，已取得了可喜的進(jìn)展。

目前中微公司還有三個(gè)重大項(xiàng)目在建，在南昌的約14 萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地已部分完工，部分生產(chǎn)潔凈室于2022年7月投入試生產(chǎn);在上海臨港的約18萬平方米的生產(chǎn)和研發(fā)基地建設(shè)已大部分封頂，明年年初就可以部分投入使用;上海臨港滴水湖畔約10萬平方米的研發(fā)中心暨總部大樓也在順利建設(shè)。

尹志堯財(cái)報(bào)致辭提到，未來兩年時(shí)間，公司會(huì)有比現(xiàn)在十五倍大的廠房陸續(xù)建成，為的是確保公司今后10年到15年的發(fā)展。

中微公司目前投入項(xiàng)目的錢，來自上市募集資金和2020年曾發(fā)募集資金。2019年中微公司在科創(chuàng)板上市募集資金15.51億元。2020年中微公司再獲融資發(fā)行，大基金、工銀瑞信基金、GIC Private Limited、國泰君安、中金公司等投資，募集資金82億元。其中國家大基金二期此次認(rèn)購額近25億元，交易完成后持股3.97%。

尹志堯在財(cái)報(bào)致辭中提及，由于光刻機(jī)的波長限制以及存儲(chǔ)器件從二維到三維的演變，等離子體體刻蝕機(jī)已成為集成電路前端設(shè)備銷售增長最快的設(shè)備，全球超過了相當(dāng)于1400億人民幣的市場，我國市場規(guī)模約350億人民幣。

“中國是全球第一大半導(dǎo)體需求市場，未來國內(nèi)還會(huì)建很多半導(dǎo)體生產(chǎn)線，需要大量的半導(dǎo)體設(shè)備和工具，對(duì)國內(nèi)和全球半導(dǎo)體公司來說，未來有很好的機(jī)會(huì)。對(duì)于國際廠家來說，要供應(yīng)中國半導(dǎo)體市場，不受地緣政治干擾是前提。”吳全告訴記者。

吳全認(rèn)為，有國際巨頭的存在，競爭門檻依然比較高，但是國內(nèi)企業(yè)暫時(shí)不應(yīng)該把泛林半導(dǎo)體、應(yīng)用材料、東京電子這些企業(yè)當(dāng)對(duì)手，更應(yīng)該當(dāng)做榜樣去學(xué)習(xí)。學(xué)習(xí)別人的技術(shù)積累和發(fā)展模式、路徑。